無塵室的分類 | | 無塵室依等級的不同而在氣流設(shè)計上面有所區(qū)別，一般可分為垂直層流方式（Class1-100）、水平層流方式（Class1-1,000）、亂流方式（Class1,000-100,000），其詳細(xì)區(qū)分如下表： |
氣流方式 | 潔凈度 | 風(fēng)速
(/s) | 換氣次數(shù)(次/h) | 吹入口、吸入口 | 優(yōu)點(diǎn) | 缺點(diǎn) | 價格比 | 垂直層流方式 | Class1
-
100 | 0.25
-
0.40 | 200
-
600 | 吹出：天花板的80%以上。
吸入：壁板的40%以上，從側(cè)面板亦可。 | 效果完全
不易被作業(yè)人員及作業(yè)狀態(tài)所影響
開始運(yùn)轉(zhuǎn)后即刻變?yōu)榉€(wěn)定狀態(tài)
粉塵的堆積及再漂浮極少
管理容易 | 需注意天花板部的無效空間（照明等）
換過濾器教麻煩
設(shè)備費(fèi)非常高
房屋的擴(kuò)充較困難 | 100 | 水平層流方式 | Class1 | 0.45
-
0.50 | 200
-
600 | 吹出：壁板的80%以上。
吸入：壁板的40%以上，從天花板亦可。 | 運(yùn)轉(zhuǎn)開始后即刻變?yōu)榉€(wěn)定狀態(tài)構(gòu)造簡單 | 上游的影響會在下游出現(xiàn)
人員及機(jī)器的配置及管理須注意
設(shè)備費(fèi)非常高
房屋的擴(kuò)充較困難 | 50-80 | Class1,000 | —— | 100
-
200 | 30-50 | 亂流方式(傳統(tǒng)式) | Class1,000
-
100,000 | —— | 30
-
60 | 吹出：過濾器吹出口較好。
吸入：從地板附近。 | 構(gòu)造簡單
設(shè)備費(fèi)低
房屋的擴(kuò)充比較容易
若再加用無塵臺可確保高潔凈度 | 由于氣流的亂流污染粒子有可能在室內(nèi)循環(huán)
到穩(wěn)定狀態(tài)須花一段時間
人員及機(jī)器的配置及管理須注意 | |
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